產(chǎn)品型號
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產(chǎn)品分類
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Nikon EX14C
1.Nikon EX14C步進式光刻機
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.25µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標
分辨率0.25µm
N.A.0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場22mm*22mm
對準精度
LSA:55nm
FIA:65nm
3.更多服務
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材