v Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(shù)（n, k）以及薄膜結構特性（如粗糙度、光學梯度及各向異性等）

v 光譜范圍：450nm to 1000nm

v 光譜分辨率：優(yōu)于3nm

v 光源：鹵素燈和藍光LED

v 測試時間：小于1秒到10秒

v 光斑尺寸:

? 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

? 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

? 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

? 500µm*500µm

v 入射角：450 to 900 ，步徑50

v 樣品尺寸：200mm以內

v 樣品準直：手動調整樣品臺高度（17mm以內）和傾角

v 空氣對射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

v 厚度準確性：0.04%

v 厚度重復性：±0.02%

v 可選附件：

? 全自動量角器，入射角度從450 到900可調，步徑0.010

? 可通過法蘭耦合在反應腔實現(xiàn)在線監(jiān)測

? 冷熱臺，液體樣品池和電化學反應池

? 十字星自準直系統(tǒng)