掃描電鏡等離子清洗機(jī)

簡要描述：一、產(chǎn)品介紹CIF掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑?/h1>

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品介紹

CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u 遠(yuǎn)程等離子清洗源

u 清洗快速、高效

u 低轟擊損傷

三、技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	CIF-SEM
法蘭接口	KF40（CF40）
工作氣壓	0.3-3Pa
等離子電源	13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)，
	遠(yuǎn)程等離子源，自動匹配器
氣體控制	標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空控制	皮拉尼真空計(jì)，測量范圍1E-5Torr
真空保證	真空計(jì)和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
電源/功率	220V，50/60Hz，300W
可選配件	可選氧氣、氮?dú)狻錃獍l(fā)生器，氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護(hù)